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    PSAICSwin SPS6型探针台 

    PSAICSwin SPS6型探针台

    PSAICSwin SPS6 Probe Station

     

    应用:

    主要应用在半导体/微电子,电子,机电,物理,化学,材料,光电,纳米,微机电/MEMS,生物芯片,航空航天等科学研究领域,以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。价格适中,稳定性强,可升级扩展,操作方便;在各大高校、研究所及半导体行业应用较广;

     

    技术参数:

    主体型号

    PSAICSwin SPS6

    显微镜配置

    三目体式显微镜

    可选:高倍率金相显微镜、单筒视频显微等…

    视频成像配置

    CCD/C-MOS相机

    真空卡盘尺寸

    6寸

    XY平台行程范围

    150mm*150mm

    XY平台设计

    采用高精密丝杠式设计,精度<10微米,旋钮式设计

    显微镜支撑结构XY行程

    50mm*50mm

    粗微调装置

    精度<10微米

    加温卡盘

    可选200度/300度/其它

    Z轴升降范围

    5mm

    卡盘R轴旋转角度

    0-30度

    底座方式

    双层设计

    二层板结构

    U型

    可放置样品尺寸

    5mm至150mm(6寸)

    真空卡盘平坦度

    <10微米

    探针座配置

    MH300/MH100/MH500

    探针杆配置

    弹簧式/管式/高频/其它各类电学测试应用

    线缆配置

    同轴/三轴/高频/其它各类电学测试应用

    接口配置

    BNC或三同轴或其它

    仰角调节装置

    可选(配合管式探针杆使用)

    探针

    钨针(直径可选)/高频探针/其它

    屏蔽箱

    可选

    隔振台

    可选

    台体尺寸

    580mm*460mm*400mm

    重量

    45kg

     

     

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