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    PSAICSwin 4PP系列真空高低温四点探针测试系统 

    PSAICSwin 4PP系列真空高低温四点探针测试系统

    PSAICSwin 4PP Series Vacuum High And Low Temperature Four Point Probe System

     

    概述

    PSAIC 4PP系列四点探针测试系统根据温度范围不同,可分为HT-4PP 高温型 (High Temperature)、LT-4PP 低温型 (Low Temperature)、LHT-4PP 高低温型(Low-High Temperature) ;高温环境下系统配置了冷却回路,避免重要组件受高温影响,每只探针均有陶瓷绝缘处理,可以耐受高温影响;

     

    应用:

    主要应用于被测试样品在高低温环境下的四点探针测量,在半导体/微电子,电子,机电,物理,化学,材料,光电,纳米,微机电/MEMS,生物芯片,航空航天等科学研究领域,以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域的应用较为广泛。

     

    技术参数:

    组件信息

    技术指标

    设备型号

    PSAICSwin HT-4PP

    高温型

    PSAICSwin LT-4PP

    低温型

    PSAICSwin LHT-4PP

    高低温型

    真空环境

    10-3 torr或其它可选

    10-3 torr或其它可选

    10-3 torr或其它可选

    温度范围

    室温~最高温度可达到700

    77K

    77K~500

    温度稳定性

    +/-3

    +/-3

    +/-3

    样品放置窗口位置

    位于真空室正前方

    另外上盖可掀开,方便拆装探针及保养维修,并可在室温环境下操作确认探针与样品的接触是否良好

    位于真空室正前方

    另外上盖可掀开,方便拆装探针及保养维修,并可在室温环境下操作确认探针与样品的接触是否良好

    位于真空室正前方

    另外上盖可掀开,方便拆装探针及保养维修,并可在室温环境下操作确认探针与样品的接触是否良好

    真空抽气口位置

    位于真空室后方,真空系统符合ISO设计规范

    位于真空室后方,真空系统符合ISO设计规范

    位于真空室后方,真空系统符合ISO设计规范

    观察窗口

    位于真空室正前方

    位于真空室正前方

    位于真空室正前方

    真空腔材质

    不锈钢材质

    不锈钢材质

    不锈钢材质

    探针材质

    陶瓷绝缘

    陶瓷绝缘

    陶瓷绝缘

    预留接口

    客制

    客制

    客制

    样品载台尺寸

    4寸(可选其它)

    4寸(可选其它)

    4寸(可选其它)

    载台材质

    石英材质(可选其它)

    石英材质(可选其它)

    石英材质(可选其它)

    抽气系统

    涡轮分子泵,最高真空度可达10-8Torr

    机械泵,最高真空度可达10-4Torr

    自动抽气控制系统配置气动阀门与气动解压阀(可选项)

    涡轮分子泵,最高真空度可达10-8Torr

    机械泵,最高真空度可达10-4Torr

    自动抽气控制系统配置气动阀门与气动解压阀(可选项)

    涡轮分子泵,最高真空度可达10-8Torr

    机械泵,最高真空度可达10-4Torr

    自动抽气控制系统配置气动阀门与气动解压阀(可选项)

    真空计量程

    Atm~10-9 mbar/Torr

    Atm~10-9 mbar/Torr

    Atm~10-9 mbar/Torr

    温度控制器

    PID控制器

    PID控制器

    PID控制器

    测量组件

    可变换不同的量测组合,依据Ven Der Pawl法则,可以量测不同温度下的电阻率,并做出温度曲线

    可变换不同的量测组合,依据Ven Der Pawl法则,可以量测不同温度下的电阻率,并做出温度曲线

    可变换不同的量测组合,依据Ven Der Pawl法则,可以量测不同温度下的电阻率,并做出温度曲线

    其它

    *系统可根据实际应用需求客制化

     

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